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韓國(guó)耐神的(de)近(jìn)紅(hóng)外(w♠σ♦≠ài)測厚/距離(lí)傳感器(qì)可(kě)穿透晶圓，僅需單探頭即§$σ∏可(kě)實現(xiàn)測厚，精度可(k↔¶≥→ě)達10nm。

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