韓國(guó)耐神大(dà)面積幹涉傳感器(qì)nXI-2采用(yòng)幹涉測量技(jì)術(shù)，這(z φ✘£hè)是(shì)一(yī)種用(yòng)于校(x≥↑iào)準精密測量設備并精确測量大(dà)面積的(de)技(jì)術(₩∞shù)。

在生(shēng)成大(dà)量數(shù)據✔ε 的(de)同時(shí)，大(dà)面積幹涉儀nXI-2的(de)測量速度是(shì)傳統幹涉測量法的(de)十倍£¶←，并提供可(kě)靠的(de)數(shù)據，從(cónβαλ"g)而提供各種信息，以提高(gāo)工(gōng)藝效率和($δ  hé)生(shēng)産質量。

由于大(dà)面積幹涉儀nXI-2可(kě)以快(kuài)速測量大(dà)面積，因<×此非常适合大(dà)規模生(shēng)産線，而↓≠γ且其先進的(de)測量技(jì)術(shù)确保了ε≈β(le)測量的(de)高(gāo)可(kě)靠性。

大(dà)面積幹涉儀nXI-2測量台階、厚度和(hé)粗糙度，因此可(kě)用(yòng)于測量∑☆"​微(wēi)米或更小(xiǎo)的(de)點，例如(αΩrú)半導體(tǐ)的(de)微(wēi)觀結構、凸起和(hé)∏®‍β粗糙度，以及柱間(jiān)隔、表面結構和(hé÷€)面闆中異物(wù)的(de)突出物(wù)等。此外(wài)，它可π€ (kě)以分(fēn)離(lí)薄膜，因此在測量具有(yǒu)多(duō)層結構的(de)産品¥∏×↔時(shí)表現(xiàn)出色。

大(dà)面積幹涉儀nXI-2可(kě)測量最大(dà)的(de)視(shì)野範 σ圍FOV為(wèi)100mm×100mm ，因此用(yòng)于測量各種産品。