韓國(guó)耐神白(bái)光(guāng)幹涉傳感€£器(qì)nXI-5采用(yòng)幹涉測量技(jì)術(s≈₽↓hù)，這(zhè)是(shì)一(yī)種® ¥§用(yòng)于校(xiào)準精密測量設備并精确測量小(xσ ☆iǎo)面積的(de)技(jì)術(shù)。因此，它提供了(le)可(kě)σ π$靠的(de)數(shù)據，以提高(gāo€$≥)流程效率并有(yǒu)效提高(gāo)生(shēng)産質量。

此外(wài)，這(zhè)種更快(kuài)的(de₽')測量解決方案非常适合大(dà)規模生(s®→"♣hēng)産線，其先進的(de)測量技(jì)術(shù)确保了(γ☆le)測量的(de)高(gāo)可(kě ±¥)靠性。

白(bái)光(guāng)幹涉傳感器(qì)nXI-5測量台階、厚度和(hé)粗糙度，因此可(kě)用(y∞✔‍òng)于測量1微(wēi)米或者更小(xiǎo)，例如€←(rú)半導體(tǐ)的(de)微(wēi)結構、凸起和(hé)粗糙度，以&☆'×及面闆中的(de) Column Spacer 、表面結構和(hé)因異物(wù)引起的(de)凸起等。此外(w>>λ≠ài)，它還(hái)可(kě)以分(fēn)離(lí)薄膜和(hé)因此↓ ，在測量多(duō)層結構的(de)産品方面表現(xiàn)出色。

根據客戶需求，既可(kě)以作(zuò)為(wèi)白(bái)光(guāng)幹涉儀單機(jī)使用(yòng)也(yě)可(kě)以作(zuò)為✔ε≤ (wèi)傳感器(qì)模組配套于檢測設備上(shàng‌>✔)。