近(jìn)紅(hóng)外(wài)幹涉厚度¥∞Ω/位移傳感器(qì)
nXV-1使用(yòng)幹涉法測量精确的(de)位移和(hé)厚度♠★≤。
在線格式支持實時(shí)測量。可(kě)将測量探針安裝在λβ機(jī)械臂上(shàng),可(kě)在移動時(shí)進行(x↓×íng)測量,并用(yòng)于各種測量任務。
此外(wài),由于薄膜分(fēn)離(lí)是(shì)可(kě)能(n≠→éng)的(de),它可(kě)以精确地(dε♣↔×ì)分(fēn)離(lí)表面,并提供可(k•∏ě)靠的(de)測量值和(hé)數(shù)據,而不(bù♦λ)考慮表面上(shàng)的(de)塗層。
通(tōng)過使用(yòng)不(bù)同波長(cháng)的(de)光(♦" guāng)源,nXV-1測量透明(míng)産品→≤→γ(如(rú)薄膜和(hé)玻璃)以及不(bù)透明(míng)&$或粗糙産品(如(rú)矽和(hé)藍(lán)寶石晶♠β♠片)的(de)厚度。可(kě)用(yòng)于厚度難以測量的(de÷₹)産品,如(rú)二次電(diàn)池(密封厚度)和(h₽é)PCB保形塗層。

